[发明专利]碳纳米管逻辑“或”门器件及其制备方法

摘要

本发明涉及一种碳纳米管逻辑“或”门器件及其制备工艺；该器件包括衬底，在衬底上设绝缘层、碳纳米管、栅极、电极及电阻；在绝缘层上的沟槽内设两栅极，在两栅极两侧的绝缘层上的沟槽内设两电极；一碳纳米管与栅极和电极接触；两电极中的一电极接地，另一电极通过电阻与一恒压相连。利用两个栅极控制碳纳米管截止或导通，从而实现逻辑“或”功能；与其他碳纳米管逻辑电路相比，本发明逻辑“或”门电路结构简单，且易于制作和集成。

主权项

1、一种碳纳米管逻辑“或”门器件，包括衬底(11)、绝缘层(10)、碳纳米管(1)、栅极(4)、(5)、电极(2)、(3)及电阻(6)，在衬底(11)上设绝缘层(10)；其特征在于在绝缘层(10)上设栅极(4)、(5)，在两栅极(4)、(5)两侧的绝缘层(10)上设两电极(2)、(3)；一碳纳米管(1)垂直于栅极(4)、(5)和电极(2)、(3)放置在绝缘层(10)上，并与栅极(4)、(5)和电极(2)、(3)相接触；两电极(2)、(3)中的一电极(2)接地，另一电极(3)通过电阻(6)与一恒压(9)相连。