[发明专利]带单电枢的微电子机械系统有效
| 申请号： | 02124681.5 | 申请日： | 2002-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN1385357A | 公开（公告）日： | 2002-12-18 |
| 发明（设计）人： | 姜锡镇;赵镇佑 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;H01L49/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒,魏晓刚 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种带单电枢的微电子机械系统(MEMS)开关。此MEMS开关包括一个衬底;安装于衬底上彼此远离的地线;位于地线间以预定间隙相隔的信号传输线;置于信号传输线间的电枢;一个围绕在电枢周围的驱动电极,且该电极不与电枢、信号传输线、地线接触;以及驱动电极上的移动片,它与信号传输线的一部分重叠,并与电枢弹性连接。 | ||
| 搜索关键词： | 电枢 微电子 机械 系统 | ||
【主权项】：
1.一种微电子机械系统开关，包括：一个衬底；安装于衬底上彼此远离的地线；位于地线之间相距预定间隙的信号传输线；一个位于信号传输线之间的电枢；一个不与电枢、信号传输线和地线接触的驱动电极，该驱动电极环绕在电枢周围；以及一个位于驱动电极上与信号传输线的一部分重叠的移动片，该移动片与电枢弹性连接。
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