[发明专利]制作电致发光显示器的、使用电磁铁的蒸镀装置及采用此装置的蒸镀方法有效
| 申请号： | 02126547.X | 申请日： | 2002-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN1426118A | 公开（公告）日： | 2003-06-25 |
| 发明（设计）人： | 裵京彬;吴圭云;崔上和 | 申请（专利权）人： | 高级网络服务公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/56;G02F1/061 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 刘国平 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置以及采用这种装置的真空蒸镀方法。利用同时具有电磁铁和永磁铁的荫罩板安放工作台，在排列时可以使玻璃基片和荫罩板平行配置，使用3轴位置移动装置可在荫罩板安放工作台上正确排列，排列后利用包括永磁铁的荫罩板夹具使玻璃基片和荫罩板贴紧后，使荫罩板安放工作台移到操作位置外，然后在同一容器内进行蒸镀。 | ||
| 搜索关键词： | 制作 电致发光 显示器 使用 电磁铁 装置 采用 方法 | ||
【主权项】：
1、用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置，其特征为：其结构包括有真空容器、荫罩板夹具、荫罩板安放工作台、光学排列判定装置、直线导向装置、和控制部件；荫罩板夹具装在真空室上部，带有用于把排好的荫罩板紧贴在玻璃基片上的永磁铁；荫罩板安放工作台为了放置荫罩板而设置在荫罩板夹具下部，包括有用控制部件进行控制的3轴位置移动装置，控制部件用于把上面的玻璃基片和被放置的玻璃基片进行排列而与外部连接；光学排列判定装置是用于确认所述玻璃基片和荫罩板排列状态；直线导向装置用于在真空室内使所述荫罩板安放工作台左右移动；控制部件设置在真空室外，用来控制所述3轴位置移动装置的位置、直线导向装置、加在电磁铁上的电流极性和大小。
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