[发明专利]在半导体物料供应设备中连锁管理的方法及系统

摘要

本发明有关一种在半导体制造系统中连锁物料供应设备的系统，至少包括一收集装置，用以收集一使用者及物料数据；一通讯装置，用以传送使用者及物料数据；一控制器，藉由通讯装置与物料供应设备和收集装置相通讯，其用以发出数个警示信息；及一警示装置与物料供应设备相连接，并藉由通讯装置与控制器相通讯，用以显示警示信息及控制物料供应设备。一种在半导体制造系统中连锁管理物料供应设备换料的方法至少包括收集物料供应设备的一更换物料数据；以一控制器比对更换物料数据，此控制器与物料供应设备相通讯；从控制器送出一警示信息至物料供应设备；及根据警示信息锁住(disable)相对应物料供应设备。

主权项

1.一种在半导体制造系统中连锁物料供应设备的装置，其特征在于，该装置至少包括：一控制器，用以处理一条码数据；一条码扫描器，藉由一传送系统与该控制器相通讯，该条码扫描器用以收集该物料供应设备的该条码数据；及数个警示装置与该控制器和该物料供应设备相连接，该警示装置用以接收来自该控制器的数个警示信息。