[发明专利]一种具有调整阀门运动速度的气压驱动装置无效
| 申请号： | 02127473.8 | 申请日： | 2002-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN1472463A | 公开（公告）日： | 2004-02-04 |
| 发明（设计）人： | 陈庆任;吕水烟;陈明元;陈意壬 | 申请（专利权）人： | 矽统科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K31/122 | 分类号： | F16K31/122 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民;王初 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种气压驱动装置，包含一种容器主体，内部空间由一种活塞区隔为两个气体容纳空间，且两个气体容纳空间分别具有开口供气体导管装设。另包含一种调压阀，装设于气体导管上，用来调整进入该容器主体的气体压力。又包含一种阀门，藉由一长轴经过气体容纳空间的开口与活塞连接，此阀门利用调压阀调整进入该容器主体的气体压力，控制活塞的运动速度，经由连接的长轴，达成调整阀门运动速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 调整 阀门 运动 速度 气压 驱动 装置 | ||
【主权项】：
1.一种具调整阀门运动速度的气压驱动装置，应用于半导体工艺设备作为开关反应室的阀门，其特征在于：该气压驱动装置具有一容器主体，该容器主体内由一活塞区隔为一第一气体容纳空间和一第二气体容纳空间，且该第一和第二气体容纳空间分别具有一第一开口和第二开口供气体导管装设，另有一第三开口位于该第一气体容纳空间上，该气压驱动装置至少包含：一调压阀，装设于气体导管上；以及一阀门，藉由一长轴经过一第三开口与活塞连接，该阀门利用该调压阀调整进入该容器主体的气体压力，控制该活塞的运动速度，经由连接的该长轴，达成调整该阀门运动速度。
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