[发明专利]使用在水溶液中具有高当量电导率的导电材料的抗蚀剂剥离剂组合物无效
| 申请号： | 02127602.1 | 申请日： | 2002-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN1452019A | 公开（公告）日： | 2003-10-29 |
| 发明（设计）人： | 崔浩星;金址洪;金泰根;吕相赫;朴海成 | 申请（专利权）人： | 株式会社德成 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王杰 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明披露了一种抗蚀剂剥离剂组合物，它在蚀刻和灰化步骤之后对残余抗蚀剂具有优异的剥离性，并且对金属膜或无机材料膜形成的基片具有优异的耐腐蚀性。该剥离剂组合物包括：0.5－25％重量的在0.001N水溶液中在18℃时当量电导率为300Ω－1cm2当量－1或更高的电解材料、60.0－99.4％重量的水以及0.1－25.0％重量的腐蚀抑制剂。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 水溶液 具有 当量 电导率 导电 材料 抗蚀剂 剥离 组合 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂剥离剂组合物，包含：0.5-25％重量的在0.001N水溶液中在18℃时当量电导率为300Ω-1cm2当量-1或更高的电解材料、60.0-99.4％重量的水以及0.1-25.0％重量的腐蚀抑制剂。
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