[发明专利]带有磁铁的等离子体的连续蒸镀装置无效
| 申请号： | 02129143.8 | 申请日： | 2002-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN1473956A | 公开（公告）日： | 2004-02-11 |
| 发明（设计）人： | 吴定根;曹川寿;李铉旭 | 申请（专利权）人： | 乐金电子(天津)电器有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50;C23C16/54;H01F41/20 |
| 代理公司： | 天津才智专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王晓红 |
| 地址： | 30040*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带有磁铁的等离子体的连续蒸镀装置，包括工艺间、上部电极、下部电机、开卷机、卷绕机和N/S极磁铁。上部电极作为负极设置在工艺间的内部上侧；下部电极也作为负极，与上部电极保持一定间距设置在工艺间的下侧；开卷机设置在工艺间的一侧，开卷机上卷绕有带状材料，带状材料用于向上部电极和下部电极之间进行供应；卷绕机设置在工艺间的另外一侧，卷绕机用于卷绕经过上部电极和下部电极之间进行等离子体蒸镀之后的材料；N/S极磁铁交替设置在上部电极和下部电极的后面，利用产生的磁场提高反应气体的离子化率。增加了电子与反应气体之间的冲撞概率，提高了蒸镀效率。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 磁铁 等离子体 连续 装置 | ||
【主权项】：
1、一种带有磁铁的等离子体连续蒸镀装置，包括蒸镀反应的工艺间(101)；作为负极设置在工艺间内部上侧的上部电极(102)；作为负极与上部电极保持间距，设置在工艺间下侧的下部电极(103)；设置在工艺间的一侧，上边卷绕有带状材料，向上部电极和下部电极之间供应带状材料开卷机(105)；设置在工艺间的另外一侧，用于卷绕经过上部电极和下部电极之间进行等离子体蒸镀之后材料的卷绕机(106)；其特征是在上部电极(102)和下部电极(103)的后面，交替设置有利用产生的磁场提高反应气体的离子化率的N极磁铁(121)和S极磁铁(122)。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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