[发明专利]用于小尺寸工件真空镀膜的方法及其装置

摘要

本发明涉及用于小尺寸工件真空镀膜的方法及其装置，属真空镀膜技术领域。本方法将装载小尺寸工件的网笼周期性地控制在镀膜速度Nd和翻炒速度Nf下转动。本发明设计的镀膜装置，包括控制电源、电机、减速机和真空镀膜室，其中的真空镀膜室包括真空室、网笼和多个蒸发源，蒸发源置于真空室的圆周上，电机由控制电源控制其转速。本发明的方法及其装置，通过调整和控制网笼转动的速度，使小工件转动中产生的离心力克服小工件本身的向下重力，均匀地贴合在网笼的圆周壁上，减少工件之间的重叠，增大工件被镀表面，提高镀膜效率。并减少工件与工件之间或者工件与网笼壁之间滚动、滑动和碰撞的强度和持续时间，从而有效地减少工件表面的划伤和磨损。

主权项

1、一种用于小尺寸工件网笼转动的控制方法，其特征在于装载小尺寸工件的网笼周期性地控制在镀膜速度Nd和翻转速度Nf下转动，Nd＝Nc+Δd，Nf＝Nc-Δf，其中Nc＝(30/π)(g/r)转/分，g为重力加速度，g＝980cm/秒2，r为网笼的内壁半径，单位为cm，Δd、Δf各为Nc(1～70)％，网笼以Nd转动的时间Td与以Nf转动的时间Tf之比为Td∶Tf＝1～100∶1。