[发明专利]薄膜晶体管及具有该薄膜晶体管之显示装置无效
| 申请号： | 02130120.4 | 申请日： | 2002-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN1441501A | 公开（公告）日： | 2003-09-10 |
| 发明（设计）人： | 田中顺;大谷美晴;尾形洁;田村太久夫;堀越和彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;G02F1/133 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴立明,张志醒 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 构成该薄膜晶体管之绝缘膜是一种通过加热涂膜而形成的绝缘膜，该涂膜的主要组成物为氢倍半硅氧烷化合物或甲基倍半硅氧烷化合物。通过设计该绝缘膜以主要具有直径约4纳米或更小的细孔，从而可降低该绝缘膜的介电常数，因此便可改善该薄膜晶体管的工作速度。从而改善主要由非晶硅构成之薄膜晶体管的工作速度，并实现一种包含这种薄膜晶体管的显示器。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 具有 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管，包括在基板上方的一绝缘膜及一半导体膜，其特征在于，该绝缘膜是一种含有SiO的绝缘膜，该薄膜晶体管在该绝缘膜中具有小细孔，以及该绝缘膜的介电常数为3.4或更低。
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