[发明专利]一种电子级水的集成膜过程生产工艺与过程无效

专利信息
申请号: 02131276.1 申请日: 2002-09-24
公开(公告)号: CN1408653A 公开(公告)日: 2003-04-09
发明(设计)人: 王建友;王世昌;任延;王宇新;王志 申请(专利权)人: 天津大学
主分类号: C02F9/08 分类号: C02F9/08
代理公司: 天津市学苑有限责任专利代理事务所 代理人: 赵尊生
地址: 30007*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 一种电子级水的集成膜过程生产工艺与过程,以自来水为原水,依次经过预处理、一级纯水系统、二级纯水系统和终端膜过滤精处理四个组成部分而制得电子级超纯水。其中,预处理单元主要含有砂滤、超滤、活性炭吸附和纳滤,一级纯水系统主要由反渗透、膜脱气、电去离子、硼选择性离子交换树脂等单元组成,二级纯水系统主要由紫外灯氧化和抛光混床树脂组成,终端膜过滤则采用抛光反渗透膜处理。该制水系统可实现高效、清洁、可靠的非化学再生型的超纯水生产,不排放环境危害性废水,且可有效地去除杂质硼,制水系统的成本降低,水利用率得到提高,终端过滤更安全可靠。
搜索关键词: 一种 电子 集成 过程 生产工艺
【主权项】:
1、一种电子级水的集成膜过程生产工艺与过程,以城市自来水为原水,依次经过预处理、一级纯水系统、二级纯水系统和终端膜过滤精处理四个组成部分而制得电子级超纯水,其特征在于制水过程采取以下的集成膜过程工艺:(1)采用“砂滤—超滤—活性炭—保安过滤—纳滤”集成过程组成预处理系统;(2)采用“pH调节—反渗透—臭氧杀菌—膜脱气—电去离子—硼选择性离子交换树脂”集成过程组成一级纯水系统,并且在反渗透水箱、硼选择性离子交换树脂柱和一级超纯水水箱中充以高纯氮气为保护气;(3)采用“紫外灯氧化器—抛光混床离子交换”组成二级纯水系统,并且在抛光混床树脂柱中充以高纯氮气为保护气;(4)采用“抛光反渗透”作为终端膜过滤系统。
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