[发明专利]扫描检测装置的取像方法无效

专利信息
申请号: 02131603.1 申请日: 2002-09-10
公开(公告)号: CN1482493A 公开(公告)日: 2004-03-17
发明(设计)人: 黄良印;黄佳豪 申请(专利权)人: 均豪精密工业股份有限公司
主分类号: G02F1/133 分类号: G02F1/133
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人: 吴磊
地址: 台湾省台北县新*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种扫描检测装置的取像方法,是利用行进间取像,针对具周期性特征待检测物进行取像,提供至少一个影像撷取装置以进行一行进间取像,并针对具周期性特征待测物进行重叠的影像撷取,以连续性的间接曝光并产生非清晰性影像的重叠影像,最后取其重叠影像中的相对差异作为快速判定待检测物良莠的依据。本发明提供的扫描检测装置的取像方法,针对该待测物进行重叠的影像撷取,产生模糊(fuzzy)的重叠影像,并该重叠影像中的相对差异作为快速判定待检测物良莠的依据。
搜索关键词: 扫描 检测 装置 方法
【主权项】:
1.一种扫描检测装置的取像方法,利用行进间取像,针对具周期性特征待检测物进行取像,其特征在于包含下列步骤:提供至少一个影像撷取装置以进行该行进间取像;针对该待测物进行重叠的影像撷取;以连续性的间接曝光并产生模糊的重叠影像;及取该重叠影像中的相对差异作为快速判定待检测物良莠的依据。
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