[发明专利]处理铜化学机械研磨废水的方法及装置有效
| 申请号： | 02132007.1 | 申请日： | 2002-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN1480407A | 公开（公告）日： | 2004-03-10 |
| 发明（设计）人： | 沙炜华;丁瑞华;陈世忠;杨隆吉 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/52 | 分类号： | C02F1/52 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 楼仙英;潘培坤 |
| 地址： | 台湾*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种处理铜化学机械研磨废水的方法和装置。其方法为：以既定量的铜化学机械研磨废水来稀释一混凝剂，将稀释的混凝剂和大量的铜化学机械研磨废水分别导入一反应槽内，使废水和混凝剂产生凝集反应。接着，将上述步骤所得的凝集液导入一慢混沉淀槽内，与一助凝剂混合，而产生污泥。最后，除去污泥，而排放经处理的水。本发明也可将污泥导回慢混沉淀槽中，借由污泥共沉而将难沉降的颗粒沉降下来，帮助废水中颗粒的凝集。本发明可成功地处理铜CMP废水，使经处理水的浊度达到10mg/L以下。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 化学 机械 研磨 废水 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种处理铜化学机械研磨废水的方法，其包括：以既定量的铜化学机械研磨废水来稀释一混凝剂；将稀释的混凝剂和大量的铜化学机械研磨废水分别导入一反应槽内，使废水和混凝剂产生凝集反应；将上述步骤所得的凝集液导入一慢混沉淀槽内，与一助凝剂混合，而产生污泥；以及除去污泥，而排放经处理的水。
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