[发明专利]电容式压力微感测元件及其应用的指纹读取芯片

摘要

一种电容式压力微感测元件及其应用的指纹读取芯片，其中该电容式压力微感测元件，包括一基板，其特征是该基板上方设置一第一阶悬浮结构，其包括一悬浮薄板及其周缘向外平行该悬浮薄板延伸的至少一悬臂梁支脚；一第一凸块结构，设置在该悬浮薄板上表面中央处；一第二阶悬浮结构，是设置在第一凸块结构上表面，其中央部分与第一凸块结构相接触，且包覆该第一阶悬浮结构而与基板形成一封闭腔体；当外界压力改变，第二阶悬浮结构中央会有最大的位移量，进而带动整个第一阶悬浮结构平移，可达到最大的感测电容变量，大大提高感测灵敏度；且更可在一基板上形成压力微感测元件阵列以应用为指纹读取芯片，具有真实还原指纹纹峰形状的功效，而具实用性。

主权项

1、一种电容式压力微感测元件，包括一基板，其特征是：该基板上方设置一第一阶悬浮结构，该第一阶悬浮结构包括一悬浮薄板及其周缘向外平行该悬浮薄板延伸的至少一悬臂梁支脚；一第一凸块结构，设置在该悬浮薄板上表面的中央处；一第二阶悬浮结构，其是设置在该第一凸块结构上表面，其中央部分与该第一凸块结构相接触，且包覆该第一阶悬浮结构而与基板形成一封闭腔体。