[发明专利]一种浮法抛光液膜厚度测量装置无效
| 申请号： | 02132423.9 | 申请日： | 2002-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN1387022A | 公开（公告）日： | 2002-12-25 |
| 发明（设计）人： | 徐长山;王君林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘树清 |
| 地址： | 130022 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种浮法抛光液膜厚度测量装置,属于光学冷加工技术领域中的一种抛光液膜厚度的测量装置。本发明要解决的技术问题是光杠杆能在抛光液膜中浮起和俯仰角度变化的测量。解决技术问题的技术方案是采用光滑转轴支撑光杠杆结构,光杠杆浮在液膜表面的一端带有过渡圆滑的弯脚,另一端带有反射镜,用平行光管观察光杠杆的俯仰角度变化。本发明是由抛光系统和测量系统组成的,测量系统安装在抛光系统中的被加工件的后面,该装置可以实时动态测量液膜厚度,改善超光滑表面抛光条件,提高工作效率和抛光质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 厚度 测量 装置 | ||
【主权项】：
1、一种浮法抛光液膜厚度测量装置，是由抛光系统的抛光池、被加工件、工件轴、锡磨盘、磨盘轴组成的，其特征在于本发明是由抛光系统(7、8、9、13、15、16)和测量系统(10、11、12、13、14)组成的，测量系统(10、11、12、13、14)安装在抛光系统(7、8、9、13、15、16)中的被加工件(8)的后面，在测量系统中，反射镜(10)、转轴(11)、弯脚(12)三者构成光杠杆，反射镜(10)在转轴(11)的上方，镜面与轴向平行，弯脚(12)在转轴(11)的下方，弯脚(12)的面与轴向平行，弯脚(12)下部的弯脚面与液膜(13)的表面平行并浮在液膜(13)的表面上，位于转轴(11)上方的反射镜(10)与位于转轴(11)下方的弯脚(12)的面之间形成的夹角大于120°小于180°，平行光管(14)的光轴垂直于反射镜(10)的反射面。
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