[发明专利]芯片倒装焊接无效
申请号: | 02133108.1 | 申请日: | 2002-10-03 |
公开(公告)号: | CN1487571A | 公开(公告)日: | 2004-04-07 |
发明(设计)人: | 程东方;梁永生 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨力天科技发展有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;B23K35/22 |
代理公司: | 哈尔滨市哈科专利事务所有限责任公司 | 代理人: | 刘娅 |
地址: | 150040黑龙江*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 本发明公开一种芯片倒装焊接技术。是一种IC组件的新型封装工艺。通过芯片及多种插件的管脚焊于主板的插件一侧来实现的。可解决管脚焊点过密造成的短路现象,提高SMT技术的成品率。可增多管脚的个数,适应集成度更高的芯片,此外通过芯片倒装焊接技术的焊球过程,达到高产焊球硅板的要求。硅板焊球过程所有焊接所制成的接头都显示在芯片上,从而清除了基质上增加焊接的需要。本发明是在插件一侧来实现焊接,以铅为基质的末层金属板上沿积焊接金属结构和焊球,在硅片上进行焊球焊接。加上直径为100-200mm的未经过预处理的硅板。硅板厚度有100-150mm的硅板,最小硅板厚度为0.5-0.6mm。焊接合金适用63SH/PB和低a共熔双焊接合金焊接材料,基于铅质的基层金属板,圆形化开口和可软焊结构。 | ||
搜索关键词: | 芯片 倒装 焊接 | ||
【主权项】:
1.一种芯片倒装焊接技术,其特征是:在插件一侧来实现焊接,以铅为基质的末层金属板上沿积焊接金属结构和焊球,在硅片上进行焊球焊接,加工直径为100,125,150,或200mm的未经过预处理的硅板;硅板厚度有100、125和150mm的硅板,最小硅板厚度为0.5mm、200mm硅板的最小硅板厚度为0.6mm;使用预处理的硅板,作为平面化将优于机械平面化;焊接合金适用63SH/PB和低a共熔双焊接合金焊接材料,a数少于0.02点/cm.HR;基于铅质的基层金属板,圆形化开口和可软焊结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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