[发明专利]长波平面型光电探测器微型球透镜制作方法无效
| 申请号： | 02133929.5 | 申请日： | 2002-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN1492245A | 公开（公告）日： | 2004-04-28 |
| 发明（设计）人： | 朱华海 | 申请（专利权）人： | 重庆科业光电有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/136 | 分类号： | G02B6/136;G02B6/42;H04B10/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 400060重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种长波平面型光电探测器微型球透镜的制作方法，其特征在于：微型球透镜是在光电探测器管芯光敏面的衬底面，采用Ar+离子束刻蚀的方法制作的。将此种微型球透镜应用于光电探测器管芯背照面，可提高小结面积光电探测器管芯同光纤的耦合效率，从而提高了光电探测器的耦合效率。 | ||
| 搜索关键词： | 长波 平面 光电 探测器 微型 透镜 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种光电探测器微型球透镜的制作方法，其特征在于：微型球透镜是在光电探测器管芯光敏面的衬底面，采用离子束刻蚀的方法制作的。
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