[发明专利]一种用于高温下薄膜沉积的面内旋转装置无效
| 申请号： | 02134104.4 | 申请日： | 2002-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN1500903A | 公开（公告）日： | 2004-06-02 |
| 发明（设计）人： | 陶伯万;刘兴钊;张鹰;李言荣;陈家俊;刘文兴 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610054四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于高温下薄膜沉积的面内旋转装置，它由常规传动部分和面内旋转部分构成，面内旋转部分有轴向支撑盘9、径向支撑盘10通过调距螺杆11固定在一起，其间距可通过调距螺杆11调节，大齿轮6分别与轴向支撑盘9和径向支撑盘10通过滚珠12滚动连接。本发明能用于高、低温的薄膜沉积，使用本发明并结合双源沉积工艺，可以在高温下进行双面膜的两面同时沉积，可保证薄膜两面的一致性，同时可提高薄膜的面内均匀性；这种旋转可提高高温转动的可靠性，防止高温变形导致的错位卡死现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 高温 薄膜 沉积 旋转 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于高温下薄膜沉积的面内旋转装置，它包括常规传动部分，其特征是它还包括面内旋转部分，面内旋转部分由大齿轮(6)、大齿轮(6)的有槽面(13)上刻有滚动槽(14)、固定基片夹具(7)、基片(8)、轴向支撑盘(9)、轴向支撑盘(9)的有槽面上刻有滚动槽(17)、径向支撑盘(10)、径向支撑盘(10)的有槽面上刻有滚动槽(15)、调距螺杆(11)、滚珠(12)组成；其连接关系是：传动齿轮(5)与大齿轮(6)耦合连接，大齿轮(6)、固定基片夹具(7)、基片(8)通过螺钉固定在一起，轴向支撑盘(9)、径向支撑盘(10)通过调距螺杆(11)固定在一起，其间距离可以通过调距螺杆(11)调节，大齿轮(6)的有槽面(13)与径向支撑盘(10)通过滚珠(12)滚动连接，大齿轮(6)的无槽面(16)与轴向支撑盘(9)通过滚珠(12)滚动连接。
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