[发明专利]氢气氛中使用感应加热钼坩埚提拉法生长蓝宝石晶体无效
申请号: | 02134220.2 | 申请日: | 2002-06-21 |
公开(公告)号: | CN1414146A | 公开(公告)日: | 2003-04-30 |
发明(设计)人: | 李明远 | 申请(专利权)人: | 深圳市淼浩高新科技开发有限公司;李明远 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518102 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 氢气氛中使用感应加热钼坩埚提拉法生长蓝宝石晶体包括如下步骤a、设置一个高温、恒温环境的保护和与晶体生长相适应的气体气氛环境保护的晶体生长真空室;b、中频感应加热钼坩埚的温场装置;c、使用还原性气氛保护气体—氢气;d、晶体生长的提拉装置;e、控制生长晶体等径的电子秤测量系统;f、使用由电子束提纯后的Al2O3原材料。 | ||
搜索关键词: | 氢气 使用 感应 加热 坩埚 提拉法 生长 蓝宝石 晶体 | ||
【主权项】:
1、氢气氛中使用感应加热钼坩埚提拉法生长蓝宝石晶体其特征在于:a、设置一个高温、恒温环境的保护和与晶体生长相适应的气体气氛环境保护的晶体生长真空室;b、中频感应加热钼坩埚的温场装置;c、使用还原性气氛保护气体—氢气;d、晶体生长的提拉装置;e、控制生长晶体等径的电子秤测量系统;f、使用由电子束提纯后的Al2O3原材料
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