[发明专利]一种颗粒硅带的制备方法及其专用设备

摘要

本发明提供一种可作多晶硅薄膜太阳电池衬底材料的颗粒硅带的制备方法及其使用该方法制备颗粒硅带的专用设备。发明方法的工艺流程包括：将硅粉平铺于石英板或石墨板上的硅粉层依次通过预加区，线聚焦加热区和自然冷却区。其线聚焦加热区为一个分别设置于传输板上下两侧的两个带有光学线聚焦反射罩的卤钨灯管组件构成的光学加热区，硅粉层在该加热区经线聚焦区熔，熔化后的硅熔液渗流至硅粉颗粒间隔，并在自然冷却后将颗粒粘结在一起，形成所谓颗粒硅带。由本工艺所制备的颗粒硅带表面呈熔化结晶状，光滑平整，具有一定的机械强度和化学稳定性，适于用作太阳能电池的衬底材料，价格低廉。

主权项

1.一种颗粒硅带的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)将硅粉平铺于石英板或石墨板上形成硅粉层；(2)在惰性气体保护下，对硅粉层进行预加热，预加热温度为400-800℃；(3)使经预加热后的硅粉层以基本均匀的速度通过一个有惰性气体保护的线聚焦加热区进行聚焦区熔，使硅粉表面熔化，线聚焦温度控制在1420-1480℃；(4)使硅带自然冷却，即形成颗粒硅带。