[发明专利]二维渐变折射率光学元件的制造方法及装置有效
| 申请号： | 02135057.4 | 申请日： | 2002-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN1492243A | 公开（公告）日： | 2004-04-28 |
| 发明（设计）人： | 吕昌岳;陈杰良 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02F1/19;H01L21/265 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种二维渐变折射率分布光学元件之制造方法及装置，其中该制造方法包括以下步骤：提供一裸露外表面的波导，提供一掺杂元素离子源，使掺杂元素离子源发射极化离子，通过加速极化离子使其达到一高能量，以产生一极化离子束，且将高能量极化离子束引导并聚焦至波导的外表面，在波导中形成一预定折射率分布，高能量极化离子束的穿透力由该掺杂元素原子的能量决定。该制造装置包括：至少一气体源、一电源、至少一离子源、一分析器磁体、一加速管、一对相对设置的Y轴扫描板、一对相对设置的X轴扫描板、一法拉第筒、一用于波束线点位置扩散的泵浦及一供应器，其中该至少一气体源至少包括一种气体，供应器可连续供应目标光学元件至目标位置。 | ||
| 搜索关键词： | 二维 渐变 折射率 光学 元件 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种二维渐变折射率光学元件的制造方法，其包括下列步骤：提供一裸露外表面的波导；提供一掺杂元素离子源；使该掺杂元素离子源发射极化离子；通过加速该极化离子使其达到一高能量，以产生一极化离子束；且将该高能量极化离子束引导并聚焦至该波导的外表面，在该波导中形成一预定折射率分布，该高能量极化离子束的穿透力由该掺杂元素原子的能量决定。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司，未经鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02135057.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种光纤列阵元件制造方法
- 下一篇：光波导及其制作方法
