[发明专利]用离子束辅助沉积技术对硬质合金冲头表面进行处理的方法

摘要

本发明涉及一种用IAD技术在ASP－23冲头表面涂WCC的方法，属于金属表面处理技术。主要解决现有冷冲模具成本高和使用寿命低的问题。该工艺包括如下步骤：将接正高电压的ASP－23冲头放入等离子辅助气相沉积炉内，炉温为500℃－560℃，炉内压强为80Pa－100Pa，同时通入反应气体WF6、CH4，施以20KV－50KV直流电压，通过调节电压和时间，WF6、CH4被电离，[w]和[C]发生反应生成WC，并沉积在冲头表面，和先期进入的[C]离子形成WCC。处理后的冲头寿命由原来的1000万模次提高到6000万模次。适用于模具制造业。

主权项

1、一种用IAD技术在ASP-23冲头表面涂WCC的方法，包括如下步骤：将接正高电压的ASP-23冲头放入等离子辅助气相沉积炉内，炉温为500℃-560℃，炉内压强为80Pa-100Pa，同时通入反应气体WF6、CH4，施以20KV-50KV直流电压，通过调节电压和时间，WF6、CH4被电离，[w]和[C]发生反应生成WC，并沉积在冲头表面，和先期进入的[C]离子形成WCC。