[发明专利]一种高固有频率的量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器无效
| 申请号： | 02136742.6 | 申请日： | 2002-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN1425922A | 公开（公告）日： | 2003-06-25 |
| 发明（设计）人： | 王钻开;陆德仁;黄全平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高固有频率的量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器，其特征在于它是由压敏电阻、敏感梁、锚区、主梁、质量块、锚区与敏感梁之间的过渡结构及下盖板组成；敏感梁和中间主梁采用串联结构，主梁位于传感器结构的中部；通过锚区与敏感梁之间的过渡结构实现主梁的长度是敏感梁的3倍以上；过渡结构的厚度比基底硅片的厚度小1微米，长度为中间主梁的长度与敏感梁的长度差；4个敏感梁对称地分布在质量块的两端；敏感电阻设计成单一直线条状，4条安置于敏感梁与锚区的交界处，另外4条安置于敏感梁与质量块的交界处；下盖板与质量块之间有2微米的间隙。通过特殊的结构设计，可使固有频率达到700kHz以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固有频率 量程 200 s2 微机 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种高固有频率的量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器，其特征在于：(1)该传感器是由压敏电阻、敏感梁、锚区、主梁、质量块、锚区与敏感梁之间的过渡结构及下盖板组成；(2)敏感梁和中间主梁采用串联结构，主梁位于传感器结构的中部；(3)主梁的长度是敏感梁的3倍以上，是通过锚区与敏感梁之间的过渡结构实现的；该过渡结构的厚度比基底硅片的厚度小1微米，长度为中间主梁的长度与敏感梁的长度差；(4)4个敏感梁对称地分布在质量块的两端；(5)敏感电阻设计成单一直线条状，4条安置于敏感梁与锚区的交界处，另外4条安置于敏感梁与质量块的交界处；(6)下盖板与质量块之间有2微米的间隙。
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