[发明专利]检测探针接触电阻的测试结构与方法无效
| 申请号： | 02136968.2 | 申请日： | 2002-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN1482468A | 公开（公告）日： | 2004-03-17 |
| 发明（设计）人： | 曾繁中;王伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/00 | 分类号： | G01R27/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明关于一种探针接触电阻的测试结构与方法。该探针接触电阻检测结构包括第一焊垫、第二焊垫、第三焊垫、第一金属导线，连接于该第一焊垫与该第二焊垫间，与第二金属导线，连接于该第二焊垫与该第三焊垫间。该探针接触电阻检测方法包括步骤：测量该第一焊垫与该第三焊垫间的第一电阻值；测量该第一焊垫与该第二焊垫间的第二电阻值；测量该第二焊垫与该第三焊垫间的第三电阻值；以及藉由该第一电阻值、第二电阻值、第三电阻值与该探针接触电阻值的一特定关系式，俾以求得该探针的接触电阻值。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 探针 接触 电阻 测试 结构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种探针接触电阻的检测结构，其包括：至少三焊垫，其分别供一对应的探针相接触，以测量其于一特定电流下的电阻值；以及多个金属导线，其分别连接于这些焊垫间，并具有一特定电阻值。
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