[发明专利]改善光纤预制棒纵向均匀性方法

摘要

化学汽相沉积法制造光纤预制棒中改善光纤预制棒纵向均匀性的一种方法。该发明可适用于生产光纤预制棒的管内化学汽相沉积的MCVD、PCVD工艺和外部化学汽相沉积的OVD(它包括和主要原料同时喷射的氢氧火焰移动、静止不动两种不同的工艺)。本发明构思新颖，与自动控制技术紧密结合，通过对沉积过程中每一遍(层)的主要设定参数进行再次修正，极大地减小了光纤预制棒的锥度，提高了光纤预制棒的纵向均匀性，从而使单根光纤预制棒拉制光纤的均匀性得到了改善，节省了成本，提高了生产效率，适用于光纤预制棒的大规模生产。

主权项

1、改善光纤预制棒纵向均匀性的一种方法，即：对利用管内化学汽相沉积的MCVD、PCVD工艺和外部化学汽相沉积的OVD工艺，OVD工艺可分为和主要原材料同时喷射的氢氧焰移动和静止两种不同的方式，生产光纤预制棒的方法结合自动控制技术对工艺进行优化，对化学汽相沉积每一层(遍)设定的主要参数再次进行修正，其特征在于：对主要工艺参数的再次修正是从沉积起点开始的，在管内化学汽相沉积和外部化学汽相沉积的和主要原材料同时喷射的氢氧焰移动的工艺中，各个参数的改变点是以加热源的位置为依据；外部化学汽相沉积的和主要原材料同时喷射的氢氧焰静止、靶棒移动的艺中，各个参数的改变点是以靶棒的位置为依据；加热源或靶棒的移动速度在一定距离内由慢逐渐上升至该层的设定值，主要原材料的流量在一定距离内由大逐渐减小至每层的设定值，温度和管内压力(MCVD和PCVD工艺)平衡变化，和以上各参数的修正相匹配，从而实现在沉积的每一层(遍)中，不同位置上各个主要参数的本身可以有不同的值，对化学汽相沉积过程中的不足进行了弥补，减小了光纤预制棒的锥度，提高了预制棒的纵向均匀性。