[发明专利]抗粘连射频微机械开关无效
| 申请号： | 02138591.2 | 申请日： | 2002-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN1501545A | 公开（公告）日： | 2004-06-02 |
| 发明（设计）人： | 黄庆安;郑惟彬;李拂晓 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01P1/10 | 分类号： | H01P1/10;H01P3/08 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王之梓 |
| 地址： | 21009*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抗粘连射频微机械开关，包括衬底，在衬底上设有共平面波导，共平面波导由共平面波导信号线和共平面波导地平面组成，在共平面波导的上方设有固支梁，固支梁通过桥墩和高频阻抗线与共平面波导地平面连接，在位于固支梁下方的共平面波导信号线上设有绝缘层，在固支梁的下方的衬底上设有凸起，该凸起位于共平面波导信号线旁。本发明在衬底上设置凸起，而凸起对固支梁的作用，对固支梁与绝缘层粘连的发生起到了阻止作用，使本发明具有抗粘连功能，从而延长了本发明的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 粘连 射频 微机 开关 | ||
【主权项】：
1、一种抗粘连射频微机械开关，包括衬底(1)，在衬底(1)上设有共平面波导，共平面波导由共平面波导信号线(41)和共平面波导地平面(42)组成，在共平面波导的上方设有固支梁(7)，固支梁(7)通过桥墩(2)和高频阻抗线(5)与共平面波导地平面(42)连接，在位于固支梁(7)下方的共平面波导信号线(41)上设有绝缘层(3)，其特征在于在固支梁(1)的下方的衬底(1)上设有凸起(6)，该凸起(6)位于共平面波导信号线(41)旁。
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