[发明专利]一种金刚石镀膜刀具的制造方法

摘要

本发明公开了一种金刚石镀膜刀具的制造方法，其特征是采用两对弧光放电电极的弧光放电等离子化学气相沉积，电极结构为接触式循环冷却，电源双路输出，对刀具原坯预处理用硝酸+冰乙酸液中浸泡，去离子水冼净，干后，用金刚石微粉加丙酮超声波处理，清洗，利于金刚石的成核。本发明工艺稳定，操作方便，金刚石膜与刀具基体的粘结强度达到5－6kg/mm²。

主权项

1、一种金刚石镀膜刀具的制造方法，其特征在于：A、设计两对弧光放电电极，电极结构为接触式循环冷却；B、电源采用直流稳流电源，双路输出，最高电流50A，电压700V，瞬间高压60kV；C、对含钴的碳化钨硬质合金刀具原坯预处理：用硝酸+冰乙酸1∶1液中浸泡10分钟，去离子水洗净，干后，用W5-W10的金刚石微粉加丙酮超声波处理40-60分钟，之后在干净的丙酮中清洗20分钟，原料气体为CH4+H2+Ar，气体总量为2000-2800ml/min，反应压力70-100Torr，弧光温度4000-5000℃，衬底温度800-1000℃，工作电压180-200V，电流12-13A，镀膜时间30-60min。