[发明专利]等离子体辅助化学气相沉积装置脉冲电源的驱动电路

摘要

本发明公开了一种等离子体辅助化学气相沉积装置脉冲电源的驱动电路，包括，设置在一高频脉冲变压器次级输出端的四组相互隔离的驱动电路，当高频脉冲变压器次级绕组输出高电平时，驱动信号经二极管D5、D9输出由稳压管限值，当驱动信号反向时，g端高电平使三极管TR1充分导通，使ge端电压迅速降为零。反相电源支路E的负极连接在Ile端，正极连接到IGBT的发射极，有效抑制反馈到IGBT的干扰电压。串联电路L、C的L端连接到IGBT的门极，C端连接到IGBT的发射极，LC谐振范围的低阻抗，更进一步将反馈到IGBT输入端的干扰信号短路，既使有干扰信号窜入，很难成为正信号，不会让IGBT误导通，在没有驱动电压时，IGBT两端维持一负电压，达到了IGBT管正常工作而不致损坏。

主权项

1.一种等离子体辅助化学气相沉积装置脉冲电源的驱动电路，包括，设置 在一高频脉冲变压器【41】次级输出端的四组相互隔离的驱动电路【40】，驱动 电路【40】的组成是：由一电阻R1和一电容C1并联，并联后电阻R1和电容C1 的一端接高频脉冲变压器【41】次级的一输出端，在该输出端上，还连接有三 个连接成型的二极管D1、D5和D9；二极管D5的负极分别接入二极管D1和 D9的正极端；其型中间的二极管D5的负极还设置一电阻R5和一三极管TR1， 二极管D9跨接在三极管TR1的发射极与基极之间，电阻R5的另一端和三极管 TR1的集电极均连接在变压器【41】次极的另一输出端；三极管TR1的发射极和 集电极之间还设置有一稳压管Z1，稳压管Z1的两端连接有电阻R9和R13，驱 动电路【40】的输出端I1g和I1e由电阻R13两端取出；其特征在于，驱动电 路【40】还设置有一反相电源支路E，反相电源支路E的负极连接在驱动电路【40】 的I1e端，正极连接到大功率开关器件IGBT的发射极1e端，串联电路由电 感L和电容C组成，其中串联电路的电感L一端连接到大功率开关器件IGBT的 门极1g上，电容C的一端连接到大功率开关器件IGBT的发射极1e上。