[发明专利]具有负温度漂移系数的薄膜滤波器及其制作方法有效
| 申请号： | 02140832.7 | 申请日： | 2002-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1432825A | 公开（公告）日： | 2003-07-30 |
| 发明（设计）人： | 陈杰良;吕昌岳 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B6/26;G02F1/225 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种具有负温度漂移系数的薄膜滤波器及其制作方法，该薄膜滤波器包括一具有多个膜层的膜堆和一基片，其中，该膜堆沉积在该基片上，该基片的热膨胀系数大于膜堆材料的热膨胀系数，并在膜层内产生一压应力。该薄膜滤波器的制作方法包括五个步骤：第一步准备一膜堆材料(13)和一基片(14)，该基片的热膨胀系数大于膜堆材料的热膨胀系数；第二步抛光该基片；第三步在大致高于室温的温度条件下，将该膜堆材料沉积在该基片上形成具多个薄膜层的膜堆，即形成一基片/膜堆薄片；第四步将该基片/膜堆薄片冷却到室温，以形成一大致呈上凸形状的薄片；第五步将该冷却后的薄片切成多片。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 温度 漂移 系数 薄膜 滤波器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有负温度漂移系数的薄膜滤波器，其包括一由膜堆材料制成的具有多个膜层的膜堆和一基片，其中将该膜堆沉积在基片上，其特征在于该基片的热膨胀系数大于膜堆材料的热膨胀系数，且该膜堆与基片皆有一大致上凸形状。
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