[发明专利]光学式编码器和编码器用标尺

摘要

从激光源所输出的激光照射于透射型标尺，被所记录的偏振光全息图所衍射。衍射光当中仅±1级衍射光的偏振方向旋转90°。这些±1级衍射光相互干涉，在光检测器的受光表面上形成干涉条纹。±1级衍射光的干涉光透射起偏镜，透射光的一部分通过狭缝片的各狭缝，照射于光检测器，照射光的强度被检测。另一方面，偏振方向未旋转的0级衍射光、±2级衍射光等不能透射起偏镜，在靠光检测器检测之前被遮断。

主权项

1、一种光学式编码器，包括：衍射所入射的激光并且使规定级的衍射光的偏振方向有选择地旋转到规定偏振方向的光学各向异性部位所形成的标尺，和包括把激光照射于该标尺的光源、从透射前述标尺或靠前述标尺所反射的衍射光分离前述规定偏振方向的偏振分量的偏振光分离机构以及检测所分离的偏振分量引起的干涉图案的规定位置处的光强度的光强度检测机构的检测光学系统，配置成能够相对移动或相对旋转的光学传感器部分，以及基于靠该光学传感器部分所检测的光强度的变化来运算前述标尺的移动量的移动量运算装置。