[发明专利]基板的输送方法及其装置无效
| 申请号： | 02142211.7 | 申请日： | 2002-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN1446742A | 公开（公告）日： | 2003-10-08 |
| 发明（设计）人： | 内牧阳一;江川优子;加治哲德 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 何腾云 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种单张输送方法及其装置，各台架100、200、300……分别通过台架堆料机130、230、330……连接到台架间输送线400。台架100由该场合的平面形状为环状的单张输送线120和沿其长度输送方向(与台架间输送线400的输送方向交叉的方向)并列设置的处理装置101－106构成。在该场合，处理装置101－103在单张输送线120的一方侧各邻接配置1台地并列设置。另外，余下的处理装置104－106在另一方侧各邻接配置1台地并列设置。处理装置101－106分别具有输送机械手11－16。处理装置101－106具有每次处理1张即单张晶片W的腔室。这样，即使对在台架内的各处理装置来说晶片的处理不同的场合，也可防止台架内的晶片的输送和晶片输送装置与各处理装置的配合由其决定速度，这样，可防止处理量的下降。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板输送方法，包括由输送线对基板进行单张输送的步骤、由可与上述输送线同时输送地设置的另一输送线对上述基板进行单张输送的步骤、在沿上述输送线和另一输送线配置的多个处理装置与上述输送线和另一输送线之间按单张转移和输送上述基板的步骤、分开使用上述输送线和上述另一输送线实施上述基板的单张输送的步骤。
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