[发明专利]光刻胶组合物无效
| 申请号： | 02142219.2 | 申请日： | 2002-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN1407404A | 公开（公告）日： | 2003-04-02 |
| 发明（设计）人： | 金相奏;康升镇;成始震;末次益实;山田爱理 | 申请（专利权）人： | 住友化学工业株式会社;东友法肯株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光刻胶组合物，具有优良的基质和光刻胶界面的紧密粘着性，解决了湿蚀刻中的问题，具有优良的敏感度和分辨率，并且具有优良的光刻胶性能，它含有公式(I)所表示的化合物；其中，R1和R2分别表示一个氢原子或者一个烷基，R3则表示一个氢原子、烷基、芳基、芳烷基、卤代烯烃、羰烷基、羰芳基或者羰芳烷基；n表示1到40之间的一个整数，m表示1到5之间的一个整数，l表示1到5之间的一个整数。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 组合 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶组合物，含有下面通用公式(I)所表示的化合物：其中，R1和R2分别表示一个氢原子或者一个烷基；假设烷基、芳基、芳烷基、卤代烯烃、羰烷基、羰芳基和羰芳烷基能够选择性地替换一个羧基、氧化羰基、羟基、烷氧基或者烷基，R3则表示一个氢原子、烷基、芳基、芳烷基、卤代烯烃、羰烷基、羰芳基或者羰芳烷基；n表示1到40之间的一个整数，m表示1到5之间的一个整数，1表示1到5之间的一个整数。
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