[发明专利]管理衬底加工设备的设备信息的衬底加工系统

摘要

一种衬底加工设备和一种信息存储服务器，经网络互连。衬底加工设备的存储部分存储设置信息和控制程序，根据设置信息和控制程序控制衬底加工设备的操作。衬底加工设备根据进程发送备份指令命令。响应该指令命令，衬底加工设备产生存储在上述存储部分中的指定信息的副本并将复制信息经网络发送到信息存储服务器。信息存储服务器将收到的复制信息存储在硬盘中作为备份数据。信息存储服务器也可以只存储复制信息的差异数据。因此，可以有效备份用于控制衬底加工设备操作的信息。

主权项

1.一种管理衬底加工设备的衬底加工设备管理系统，能经网络通信，包括：a)第一存储部件，存储控制信息，用于控制衬底加工设备的操作；b)复制信息获取部件，获取存储在所述第一存储部件中的所述控制信息的复制信息；和c)存储部件，在第二存储部件中存储用所述复制信息获取部件获取的所述复制信息，第二存储部件包括在经所述网络连接到所述衬底加工设备的信息存储计算机中。