[发明专利]光致抗蚀剂材料的管路气泡监测装置无效
| 申请号： | 02142777.1 | 申请日： | 2002-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN1484024A | 公开（公告）日： | 2004-03-24 |
| 发明（设计）人： | 曾嘉豪;蔡毓通;蔡重德;林政毅;丁茂益 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/00 | 分类号： | G01N29/00;G01N21/59;G08B7/06 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈红;潘培坤 |
| 地址： | 台湾*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种管路气泡监测装置，适用于监测一光致抗蚀剂内部的气泡，包括至少一光致抗蚀剂槽、缓冲槽、泵以及气泡监测器。光致抗蚀剂槽用以提供光致抗蚀剂材料，缓冲槽用以储存光致抗蚀剂材料，泵用以推动缓冲槽所储存的光致抗蚀剂材料至一管路末端，气泡监测器设置于缓冲槽以及泵之间，用以监测光致抗蚀剂材料中的气泡，并于监测到气泡时，输出警示信号。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 材料 管路 气泡 监测 装置 | ||
【主权项】：
1、一种管路气泡监测装置，适用于监测一光致抗蚀剂内部的气泡，其特征在于，包括：至少一光致抗蚀剂槽，用以提供所述光致抗蚀剂材料；一缓冲槽，用以储存所述光致抗蚀剂材料；一泵，用以推动所述缓冲槽所储存的光致抗蚀剂材料至一管路末端；及一气泡监测器，设置于所述缓冲槽以及所述泵之间，用以监测所述光致抗蚀剂材料中的气泡，并于监测到所述气泡时，输出一警示信号。
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