[发明专利]一体化流体组件及其制造方法无效
| 申请号： | 02142778.X | 申请日： | 2002-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN1483580A | 公开（公告）日： | 2004-03-24 |
| 发明（设计）人： | 钟震桂;林俊仁 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/16;C25F3/14;C25F3/16 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 潘培坤;楼仙英 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种一体化流体组件及其制造方法，可应用于制作打印机喷墨头的一体化喷孔片；通过两次厚膜光阻工艺与电镀技术来形成一体成型的喷孔片与流体微信道结构体；首先，运用光微影技术形成厚膜光阻层并加以曝光；同时，于厚膜光阻层表面形成金属种子层，再利用第二次的光微影工艺以及配合电镀技术来形成喷孔片；最后，显影厚膜光阻层以形成微流道结构，即完成一体化的喷孔片制作；本发明可简化喷孔片制作的流程、减少接合对准误差、提高喷孔密度、物理分辨率和结构强度；同时本发明更可延伸为以厚膜光阻工艺来制作多阶的一体化流体组件。 | ||
| 搜索关键词： | 一体化 流体 组件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种一体化流体组件，其特征在于，包含有：一基板；一第一厚膜光阻层，形成于该基板的表面以做为一流体微信道的结构体；及一表面层，配合光微影技术与电镀技术形成于该第一厚膜光阻层的表面。
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