[发明专利]涂布膜的干燥方法、涂布膜的形成方法、及涂布膜形成装置无效
| 申请号： | 02143093.4 | 申请日： | 2002-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN1433849A | 公开（公告）日： | 2003-08-06 |
| 发明（设计）人： | 元村秀峰 | 申请（专利权）人： | 保谷株式会社 |
| 主分类号： | B05D3/00 | 分类号： | B05D3/00;B05D3/04;B05C5/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王维宁 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种涂布膜的干燥方法、涂布膜的形成方法以及涂布膜形成装置。在构成向下吹风的净化室内，可将被涂布面以向下姿势保持的基板的被涂布面上形成的涂布膜均匀地干燥。涂布装置具有将基板(20)以其被涂布面向下的姿势保持的吸盘(19)，和在由该吸盘(19)保持的基板(20)的被涂布面上涂布涂布液的涂布机构(22)，还具有朝向被涂布面供给净化空气的气流发生装置(21)。 | ||
| 搜索关键词： | 涂布膜 干燥 方法 形成 装置 | ||
【主权项】：
1、一种涂布膜的干燥方法，在构成向下吹风的净化室内，将被涂布面保持在向下姿势的基板的所述被涂布面上形成的涂布膜干燥，其特征在于，在形成所述涂布膜后，在保持该基板的姿势的状态下，边抑制所述向下吹风回到所述被涂布面上边干燥所述涂布膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于保谷株式会社，未经保谷株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02143093.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：淬火方法
- 下一篇：隐形鼻腔防尘保健架套
