[发明专利]设于硅覆绝缘中的硅控整流器及其应用电路有效
申请号: | 02143383.6 | 申请日: | 2002-09-26 |
公开(公告)号: | CN1414639A | 公开(公告)日: | 2003-04-30 |
发明(设计)人: | 柯明道;洪根刚;唐天浩 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/74 | 分类号: | H01L29/74;H01L29/861;H01L23/60 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈红 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种设于硅覆绝缘中的硅控整流器及其应用电路,该SOI-SCR可为SOI-NSCR或SOI-PSCR;SOI-NSCR包含有一P型井与一N型井;一第一P+掺杂区及一第一N+掺杂区,设于N型井并电连接一阳极;一第二P+掺杂区及一第二N+掺杂区,设于P型井并电连接一阴极,且第一P+掺杂区、N井、P型井及第二N+掺杂区构成一横向SCR;一第三N+掺杂区,横跨部分的N井及P型井;一栅极,设于P型井中并与第三N+掺杂区及第二N+掺杂区构成一NMOS;一个虚置栅极,设于N型井中;加压于该NMOS的栅极并打开该NMOS时,于N型井至P型井形成一顺向偏压而开启该SOI-NSCR;加压于第三N+掺杂区,一触发电流使该横向SCR进入锁定状态,而开启该SOI-NSCR;本发明可使SCR装置更为紧密,亦可加速其开启以达到ESD防护目的。 | ||
搜索关键词: | 设于 绝缘 中的 整流器 及其 应用 电路 | ||
【主权项】:
1.一种设于硅覆绝缘(SOI)基底的NMOS触发硅控整流器(SOI-NSCR),其特征是:该SOI-NSCR包含有:一P型井与一N型井,设于该硅复绝缘基底表面的一单晶硅层中;一第一P+掺杂区域以及一第一N+掺杂区域,设于该N型井中,用来当作该SOI-NSCR的阳极;一第二P+掺杂区域以及一第二N+掺杂区域,设于该P型井中,用来当作该SOI-NSCR的阴极,且该第一P+掺杂区域、该N井、该P型井以及该第二N+掺杂区域构成一横向SCR;一第三N+掺杂区域,横跨部分的该N型井以及该P型井;一栅极,设于该P型井中,并与该第三N+掺杂区域以及该第二N+掺杂区域构成一NMOS;以及一虚置栅极,设于该N型井中,用来隔绝该第一P+掺杂区域以及该第三N+掺杂区域。
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