[发明专利]在反应室中隔离密封件的方法和装置无效

专利信息
申请号: 02143456.5 申请日: 2002-08-19
公开(公告)号: CN1405863A 公开(公告)日: 2003-03-26
发明(设计)人: 戴维·鲁宾逊;迈克尔·德雷珀;戴夫·洛佩斯 申请(专利权)人: ASML美国公司
主分类号: H01L21/324 分类号: H01L21/324;H01L21/205;C23C16/00
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 刘志平
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供装置和方法,用于在加压、抽真空或排气的反应室(100)中隔离聚合材料制成的密封件(110),其中密封件(110)减少由于从反应室向密封件传导热量导致的损坏。反应室(100)包括壁(125),其中具有缝隙(140);边沿(115),关于缝隙放置;和边沿与固定件(120)之间的隔离件(105),隔离边沿与固定件之间的密封件。通常,隔离件(105)包括冷却管道或冷却循环管(260),它具有侧壁(262),覆盖边沿(115)并与之连接,并且帽(255)覆盖循环管。帽(255)具有密封表面(257),密封件(110)紧贴密封表面(257)放置。液体可以流过循环管(260),减少传导到密封件(110)上的热量。边沿(115)、循环管(260)和帽(255)最好由石英或玻璃制成,并且循环管的侧壁(262)焊接到边沿和帽上。更为优选的是,循环管(260)用作光导管,将反应室(100)辐射的热量从密封件(110)传导出去。
搜索关键词: 反应 隔离 密封件 方法 装置
【主权项】:
1.反应室,包括:壁,其中具有缝隙;边沿,绕缝隙放置;和隔离件,在边沿与固定件之间,隔离边沿与固定件之间的密封件,隔离件包括:冷却管道,具有侧壁,覆盖边沿,并且与边沿连接;和帽,覆盖冷却管道,帽具有密封表面,密封件紧贴密封表面放置,来密封边沿与密封件,其中冷却管道减少反应过程中从反应室向密封件传递的热量。
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