[发明专利]电子源的制造方法

摘要

一种电子源的制造方法，在激活工序中，多级地切换激活气体分压的设定值，而且，在切换设定值之后的预定时间的期间不施加补偿电压。或者，一边切换1条行布线或列布线，一边反复进行多次，而且，在切换1条行布线或列布线之后的预定时间的期间不施加所述补偿电压。由此，可以对全部电子发射元件进行均匀的激活处理。

主权项

1.一种电子源的制造方法，该电子源包括设置在基片上的多个行布线和列布线、分别连接这些布线的多个电子发射元件，该电子源的制造方法包括：在所述电子发射元件形成电子发射部的工序，及在此之后，通过在激活气体气氛中对所述电子发射元件施加电压，在包含所述电子发射部的区域淀积碳或碳化合物的激活工序，其特征在于，在所述激活工序中，包括如下工序，通过选择多个行布线或列布线中的一种布线的一部分，规定该被选择的布线的电位，在对与该被选择的布线连接的全部电子发射元件施加电压之时，借助多个行布线或列布线中的另一种布线，把对该被选择的布线所产生的电压下降部分进行补偿的补偿电压，施加在与该被选择的布线连接的各电子发射元件，在施加该补偿电压的工序中，进行把向被选择的布线所连接的电子发射元件施加的补偿电压限制在预定时间的操作。