[发明专利]容器内表面化学气相沉积涂层方法

摘要

本发明公开了一种容器内表面化学气相沉积涂层方法，该方法可以解决只有一个开口的容器，或者单向多个开口容器，或者有两个开口但其夹角小于90°、或者两个开口未开在沿容器最长方向两端的容器内表面涂层的制备。利用容器(1)本身的开口(2)连接一进气管(3)，向容器(1)内插入一根导流管(4)，导流管内口(4a)插到容器最长方向的顶端，作为尾气排出通道，反应气体在容器内表面沉积后，尾气通过位于容器内部的导流管内口(4a)通过导流管(4)排出，导流管外口(4b)处连接真空泵，沉积过程中容器内压强始终保持一定值，可采用常压或减压化学气相沉积。采用此方法可在容器内表面连续均匀地沉积涂层，并可降低生产周期。

主权项

1、一种容器内表面化学气相沉积涂层方法，其特征在于：利用容器1本身的开口2连接一进气管3，向容器1内插入一根导流管4，导流管内口4a插到容器最长方向的顶端，作为尾气排出通道，通过进气管3进行连续供气，通过导流管4进行连续排气，反应气体在容器内表面沉积后，尾气通过位于容器内部的导流管内口4a通过导流管4排出，导流管外口4b处连接真空泵，沉积过程中容器内压强始终保持一定值，可采用常压或减压化学气相沉积。