[发明专利]研磨液组合物有效
| 申请号： | 02145898.7 | 申请日： | 2002-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN1427025A | 公开（公告）日： | 2003-07-02 |
| 发明（设计）人： | 藤井滋夫;吉田宏之;萩原敏也;北山博昭 | 申请（专利权）人： | 花王株式会社 |
| 主分类号： | C08J5/14 | 分类号： | C08J5/14 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 陈剑华 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 含有研磨材料和水的研磨液组合物，是沉降度指数80以上，100以下的研磨液组合物，具有使用该研磨液组合物来研磨被研磨基板的工序的基板的制造方法，使用上述研磨液组合物来防止研磨片堵塞的方法，使用研磨片研磨含有镍的被研磨物时，使用上述的研磨液组合物研磨来防止研磨片堵塞的方法。使用研磨片研磨含有镍的被研磨物时，使用含有分子中具有2个以上亲水基，分子量300以上的亲水性高分子或在pH值8.0可溶解氢氧化镍的化合物和水的组合物研磨来防止研磨片堵塞的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 | ||
【主权项】：
1.一种研磨液组合物，其特征在于它是一种含有研磨材料和水的研磨液组合物，其沉降度指数为80以上，100以下。
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