[发明专利]自动化集成电路整机测试系统、装置及其方法有效
申请号: | 02146346.8 | 申请日: | 2002-10-24 |
公开(公告)号: | CN1416163A | 公开(公告)日: | 2003-05-07 |
发明(设计)人: | 祁明仁;郭澎嘉 | 申请(专利权)人: | 威盛电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G01R31/303 |
代理公司: | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人: | 王学强 |
地址: | 台湾省台北县*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种集成电路整机测试装置,包括一测试用电脑及至少一图像感测装置,而测试用电脑用于承载及测试一受测集成电路,其中测试用电脑承载受测集成电路后构成一整机电脑,以进行整机测试,测试用电脑包括至少一输出装置,用以将受测集成电路的测试结果输出。图像感测装置可用以撷取该输出装置上的图像,并且在图像感测装置撷取输出装置的一图像之后,会将图像传送到一控制单元中,以比对图像与原先存于一数据库中的一图像数据之间的差异。 | ||
搜索关键词: | 自动化 集成电路 整机 测试 系统 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
1、一种自动化集成电路整机测试系统,其特征在于:包括:至少一测试用电脑,适于承载及测试至少一受测集成电路,该测试用电脑包括至少一输出装置,将该受测集成电路的测试结果输出;至少一自动插拔机构,适于将该受测集成电路置入于该测试用电脑上及将该受测集成电路从该测试用电脑上移去;至少一图像感测装置,撷取该输出装置上的图像;至少一控制单元,电性连接该测试用电脑、该自动插拔机构及该图像感测装置,该控制单元用以控制该自动插拔机构的动作及控制该测试用电脑的整机测试,其中,该测试用电脑于承载该受测集成电路后构成一整机电脑,而在该图像感测装置撷取该输出装置的一图像之后,会将该图像传送到该控制单元中,以比对该图像与原先存于一数据库中的一图像数据之间的差异。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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