[发明专利]一种用于CO2－NOx气体监测的薄膜型传感器无效
| 申请号： | 02146407.3 | 申请日： | 2002-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN1403807A | 公开（公告）日： | 2003-03-19 |
| 发明（设计）人： | 洪彦若;孙加林;王岭;金从进 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407 |
| 代理公司： | 北京科大华谊专利代理事务所 | 代理人： | 吕中强 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于电化学领域，特别适用于大气监测、汽车尾气监控及其他科学研究。特征在于传感器由部分稳定的氧化锆等氧离子导体和钠矽慷(NASICON)或钠beta氧化铝双固体电解质构成，无参比电极；辅助电极由Ba(NO3)2等硝酸盐及Na2CO3等碳酸盐构成，氧化锆薄膜采用射频溅射技术制作，碳酸盐、硝酸盐采用厚膜技术制作，铂电极可用溅射等薄膜技术制作。整个传感器的直径仅0.8～1.2cm，厚0.3～0.5cm，可同时测试大气中的CO2及NOx含量；信号以毫伏(mV)输出，易于和自控设备连接；应答时间20－30秒；使用温度350－450℃；不受氧或氮等气体干扰，可直接放置于大气中；测试范围1－150ppmNOx；0.01－0.5％CO2。本发明优点在于该传感器体积小，结构简单，成本低，而且可对CO2－NOx两种气体实现同时测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 co2 nox 气体 监测 薄膜 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种用于CO2-NOx气体监测的薄膜型传感器，其特征在于传感器由部分稳定的氧化锆等氧离子导体和钠矽慷(NASICON)双固体电解质构成，无参比电极；辅助电极由Ba(NO3)2等硝酸盐及Na2CO3等碳酸盐构成，氧化锆薄膜采用射频溅射技术制作，碳酸盐、硝酸盐采用厚膜技术制作，铂电极可用溅射等薄膜技术制作。
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