[发明专利]覆晶封装制程及其装置有效

专利信息
申请号: 02146723.4 申请日: 2002-11-04
公开(公告)号: CN1499589A 公开(公告)日: 2004-05-26
发明(设计)人: 谢翰坤;林蔚峰 申请(专利权)人: 矽统科技股份有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 代理人: 刘朝华
地址: 台湾省新竹*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种覆晶封装制程及其装置,适用于一填底胶的方法,包括下列步骤:提供具有主动表面的晶片,主动表面具有多数个间隔排列的金属凸块;提供表面具有一晶片接合区的基板,晶片接合区具有多数个间隔排列且已完成预上锡膏的焊垫;使用一印刷网版以网版印刷法,于晶片接合区内的焊垫之间形成一填胶材料;将金属凸块与焊垫接合,使晶片粘着于基板上。适用于覆晶封装制程中的覆晶封装装置,以网版印刷将一填胶材料经由印刷区块形成于基板上,印刷网版包含有印刷区块及其它区域,印刷区域包含有多数个开孔区及多数个屏蔽部,多数个连接线作为屏蔽部与印刷网版其它区域的连结及屏蔽部之间的连结。具有增加覆晶封装中填底胶的产出、提升覆晶封装制程的优良率及提升覆晶封装产品的可靠度与使用寿命的功效。
搜索关键词: 封装 及其 装置
【主权项】:
1、一种覆晶封装制程,适用于填底胶的方法,其特征是:它包括下列步骤:(1)提供一具有主动表面的晶片,该主动表面具有多数个间隔排列的金属凸块;(2)提供一表面具有晶片接合区的基板,该晶片接合区具有多数个间隔排列,且已完成预上锡膏的焊垫;(3)使用一印刷网版以网版印刷法,于该晶片接合区内的焊垫以外的区域,形成一填胶材料;(4)将该金属凸块与焊垫接合,使该晶片粘着于该基板上。
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