[发明专利]具有温度补偿特征的温度控制方法和装置有效
| 申请号： | 02146940.7 | 申请日： | 2002-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN1492295A | 公开（公告）日： | 2004-04-28 |
| 发明（设计）人： | 萧义理;周梅生;彭进兴;黄见翎;陈择毅;李俊仪;吴学昌 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/00 | 分类号： | G05D23/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈红;徐金国 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种具有温度补偿特征的温度控制方法和装置。此温度控制方法至少包括：操作主温度控制装置，来提供主温度特性曲线；提供补偿温度特性曲线，其中补偿温度特性曲线与主温度特性曲线互为镜射(Mirror Reflected)；以及根据主温度特性曲线来操作主温度控制装置，同时并根据补偿温度特性曲线来操作补偿温度控制装置。因此，当受控体的机台欲动作一特定程序时，则该补偿温度控制装置同时将以该特定程序的温度特性来补偿之，故温度能完全维持在设定温度。此主温度控制装置可为：具有主冷却液(Coolant)槽的冷却机(Chiller)，或PN接口(Junction)温度控制装置等，而此补偿温度控制装置可为：具有温度补偿冷却液槽的冷却机，或PN接口温度控制装置等，其中此补偿温度控制装置可为开放回路或封闭回路的自动控制方式。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 温度 补偿 特征 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种具有温度补偿特征的温度控制方法，是使用一主温度控制装置和一补偿温度控制装置，来控制一受控体在一标准受控温度值，该温度控制方法至少包括：操作该主温度控制装置，来提供一主温度特性曲线；提供一补偿温度特性曲线，其中该补偿温度特性曲线是以该标准受控温度值为基准，而与该主温度特性曲线互为镜射；以及根据该主温度特性曲线来操作该主温度控制装置，并根据该补偿温度特性曲线来同时操作该补偿温度控制装置。
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