[发明专利]振动式微型电场传感器有效
| 申请号： | 02147377.3 | 申请日： | 2002-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN1492235A | 公开（公告）日： | 2004-04-28 |
| 发明（设计）人： | 夏善红;裴强;白强;龚超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01R29/00 | 分类号： | G01R29/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 戎志敏 |
| 地址： | 100080*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种振动式微型电场传感器，包括振动部分和感应部分，在振动部分形成振动膜(1)，在振动膜(1)上制备第一激振电极(2)和屏蔽电极(3)，在感应部分制备第二激振电极(5)和感应电极(6)。本发明的微型电场传感器基于微加工技术，体积小，成本低，易于批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 式微 电场 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种振动式微型电场传感器，包括振动部分和感应部分，其特征在于在振动部分有振动膜(1)，在振动膜(1)上制备第一激振电极(2)和屏蔽电极(3)，感应部分有第二激振电极(5)和感应电极(6)。
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