[发明专利]连续异常缺陷快速警示系统及方法有效
申请号: | 02148965.3 | 申请日: | 2002-11-14 |
公开(公告)号: | CN1501434A | 公开(公告)日: | 2004-06-02 |
发明(设计)人: | 陈威铭;林继晋;许建益 | 申请(专利权)人: | 旺宏电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;G06F19/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 马娅佳 |
地址: | 台湾省新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种连续异常缺陷快速警示系统及方法,包括使用一缺陷资料统计系统统计缺陷扫描站所取得的缺陷检测资料以制作一缺陷检测资料趋势图、一缺陷资料分析系统在固定时间内分析该缺陷检测资料趋势图,并记录连续异常缺陷事件以制作一缺陷警示报表,以及一电子邮件系统在设定的时间发送该缺陷警示报表通知负责工程师。接获该通知的工程师利用缺陷扫描图形资料库中己知事件的缺陷分布图形来比对缺陷扫描站所取得的缺陷分布图形,以判别连续异常事件是否为已知事件,进而决定处理对策。 | ||
搜索关键词: | 连续 异常 缺陷 快速 警示 系统 方法 | ||
【主权项】:
1、一种连续异常缺陷快速警示系统,包括:一缺陷扫描站,以扫描产品缺陷分布情形并产生一缺陷检测资料及制作一缺陷分布图;一缺陷资料统计系统,以统计该缺陷检测资料的缺陷数量,并依时间的先后制作一缺陷检测资料趋势图;一缺陷资料分析系统,在固定时间内分析该缺陷检测资料趋势图,并记录连续两批或以上产品缺陷数量超出上限的资料,以制作一缺陷警示报表;一电子邮件系统,在预定的时间透过网路传送该缺陷警示报表给负责工程师;及一缺陷扫描图形资料库,贮存许多已知事件缺陷分布图,用以比对该缺陷分布图。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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