[发明专利]新颖的电流感测元件及其制造方法无效
| 申请号： | 02149220.4 | 申请日： | 2002-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN1499205A | 公开（公告）日： | 2004-05-26 |
| 发明（设计）人： | 庄弘毅 | 申请（专利权）人： | 乾坤科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R15/00 | 分类号： | G01R15/00;H05K3/10 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 吴磊 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种新颖的电流感测元件及其制造方法：主要以镍铜合金或锰铜合金或镍铬合金等低温度电阻系数(TCR)合金的薄膜，作为基板表层，通过热压贴合方式，紧密附着于陶瓷、氧化铝、氮化铝或氧化铍(BeO)薄板上、下表面上，而形成的新型基板；其次，利用光罩蚀刻，于基板表层上形成电流感测器的布局图案；再于感测器单元的两侧电极部分利用电镀，于底面形成覆晶，并将正面的电极镀厚；然后以雷射修整，得到具有精确阻值的感测器图形；又于感测器图形上被覆一保护层；并予切条，以溅镀法被覆端面电极；最后进行切粒、滚镀，而得微小的晶片型电流感测元件。 | ||
| 搜索关键词： | 新颖 流感 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种新颖的电流感测元件的制造方法：主要以镍铜合金或锰铜合金或镍铬合金等低温度电阻系数(TCR)合金的薄膜作为基板表层，通过热压贴合方式，紧密附着于陶瓷如氧化铝、氮化铝或氧化铍(BeO)薄板上、下表面上，而形成的新型基板；其次，利用光罩蚀刻，于基板表层上形成电流感测器的布局图案；再于感测器单元的两侧电极部分利用电镀，于底面形成覆晶，并将正面的电极镀厚；然后以雷射修整，得到具有精确阻值的感测器图形；又于感测器图形上被覆一保护层；并予切条，以溅镀法被覆端面电极；最后进行切粒、滚镀，而得微小的晶片型电流感测元件。
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