[发明专利]静电驱动器及使用该驱动器的静电微动继电器等其他设备无效
| 申请号： | 02150233.1 | 申请日： | 2002-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN1417826A | 公开（公告）日： | 2003-05-14 |
| 发明（设计）人： | 秋叶朗;宇野圭辅;城岛正男;积知范;佐野浩二 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 谷惠敏,关兆辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 通过抑制静电驱动器的接通电压和断开电压等工作电压特性的变动，防止向静电驱动器施加额定电压时，静电驱动器不接通，或断开驱动电压时，静电驱动器不断开的现象。相对置地设置固定电极30和可动电极38，在固定电极30的表面形成绝缘膜31。绝缘膜31以氮化膜(SiN)37为主要材料构成，在氮化膜37的正反两面形成氧化膜(SiO2)39、48。在绝缘膜31的上表面与可动电极38对置的区域设置有多个突起32。绝缘膜31的带电量主要由氧化膜48的膜厚决定，使用氮化膜47是为确保耐压特性等所需的必要膜厚。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 驱动器 使用 微动 继电器 其他 设备 | ||
【主权项】：
1.一种静电驱动器，对置设置有第1电极和第2电极，在第1电极和第2电极相对置的区域中，在两电极的至少一个电极对置面上形成绝缘膜，利用向第1电极和第2电极间施加电压时的静电引力，来驱动第1电极和第2电极中的至少一个电极，从而使第1电极和第2电极通过前述绝缘膜而接触，其特征在于，第1电极和第2电极中的至少一个具有带电量控制结构。
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