[发明专利]制造单体喷墨打印头的方法

摘要

本发明公开了一种制造单体喷墨打印头的方法。该方法包括在衬底表面形成通过加热墨汁来产生气泡的加热元件，在其上形成加热元件的衬底上涂敷设定厚度的负性光致抗蚀剂。然后，利用第一光掩模正射曝光并固化负光致抗蚀剂的一部分，此部分形成包围墨腔和限流器的油墨通道成型壁的侧壁，该光掩模上形成有墨汁通道的墨腔和限流器的图样。随后，利用制有喷嘴图样的第二光掩模曝光负性光致抗蚀剂的一部分，且只将该部分固化至设定厚度，该部分形成墨汁通道成型壁的顶壁。最后，用溶剂溶解去除负光致抗蚀剂上未被固化的部分。本方法能形成其元件通过利用单一负光致抗蚀剂的简化工艺整体形成的喷墨打印头。

主权项

1.一种制造单体喷墨打印头的方法，其中，在一衬底上整体地形成了自储墨器输送墨汁的墨汁通道、以及将输送来的墨汁喷射出的喷嘴，所述方法包括步骤：在衬底的表面上形成一加热元件，该加热元件通过加热墨汁产生气泡；在其上已形成加热元件的衬底上涂敷负性光致抗蚀剂至预定厚度；通过利用一第一光掩模正射曝光和固化负性光致抗蚀剂的一部分来进行第一次曝光，该部分形成墨汁通道成型壁的侧壁，以环绕墨汁腔和限流器，在该第一光掩模上形成了墨汁通道的墨腔和限流器的图样；通过利用一第二光掩模曝光该负性光致抗蚀剂上的一个部分、且只将该部分固化至设定的厚度来进行第二次曝光，该部分形成墨汁通道成型壁的顶壁，在该第二光掩模上制有喷嘴的图样；以及用溶剂溶解并去掉负性光致抗蚀剂的在第一次曝光步骤和第二次曝光步骤中未固化的部分。