[发明专利]感应耦合等离子体发射装置用的天线电极无效
| 申请号： | 02150559.4 | 申请日： | 2002-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN1420713A | 公开（公告）日： | 2003-05-28 |
| 发明（设计）人： | 权奇清;李政范;边洪植 | 申请（专利权）人： | 周星工程有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34;H01L21/3065;H01L21/205 |
| 代理公司： | 隆天国际专利商标代理有限公司 | 代理人： | 徐金国,楼仙英 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种感应耦合等离子体发生装置用的天线电极包括铜管；在铜管外表面上的银层；和在银层上的第一绝缘层。另一方面，一种感应耦合等离子体发生装置用的天线电极包括无氧铜管；和在无氧铜管外表面上的的第一绝缘层。 | ||
| 搜索关键词： | 感应 耦合 等离子体 发射 装置 天线 电极 | ||
【主权项】：
1.一种感应耦合等离子体发生装置用的天线电极，包括：铜管；在铜管的外表面上的银层；和在银层上的第一绝缘层。
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